
|
Габариты рабочей зоны ø×H (mm) |
ø800×1200 |
ø1000×1500 |
ø1200×1800 |
ø1500×2500 |
ø1800×3000 |
|
Вес садки(kg) |
600 |
1000 |
1200 |
2000 |
2500 |
|
Мощность нагрева(kW) |
240 |
330 |
450 |
570 |
750 |
|
Макс. температура(℃) |
1050 |
1050 |
1050 |
1050 |
1050 |
|
1350 |
1350 |
1350 |
1350 |
1350 |
|
|
Равномерность температуры(℃) |
±5 |
±5 |
±5 |
±5 |
±5 |
|
Вакуум(Pa) |
4×10-1 |
4×10-1 |
4×10-1 |
4×10-1 |
4×10-1 |
|
4×10-3/6×10-4 |
4×10-3/6×10-4 |
4×10-3/6×10-4 |
4×10-3/6×10-4 |
4×10-3/6×10-4 |
|
|
Скорость нарастания давления(Pa/h) |
≤0.26 ≤0.65 |
≤0.26 ≤0.65 |
≤0.26 ≤0.65 |
≤0.26 ≤0.65 |
≤0.26 ≤0.65 |
|
Время перемещения садки(S) |
≤20 |
≤36 |
≤45 |
≤60 |
≤72 |
|
Вместимость бака масла(L) |
5000 |
98000 |
11000 |
180000 |
240000 |
|
Охлаждающий газ 99.995% |
N2/Ar |
N2/Ar |
N2/Ar |
N2/Ar |
N2/Ar |
|
Давление Охлаждающего газа(bar) |
2 |
2 |
2 |
2 |
2 |