Вакуумные печи для осаждения из газовой среды C (карборунда)/улучшения свойства материалов трихлормоносиланом (MTS)

Горизонтальные вакуумные печи

Размер рабочей зоны Ш×В×Д (мм)	ø600 × 600 × 900	ø800 × 800 × 1200	ø1000 × 1000 × 1500	ø1200 × 200 × 2500	ø1500 × 1500 × 3000
Макс. температура(℃)	1500	1500	1500	1500	1500
Однородность температуры(℃)	±7.5	±7.5	±7.5	±10	±10
Предельный вакуум (Па)	50	50	50	50	50
Скорость увеличения давления(Па/ч)	0.67	0.67	0.67	0.67	0.67

Размер рабочей зоны Д×В (мм)	ø300 × 500	ø600 × 800	ø800 × 1200	ø1000 × 1500	ø1100 × 2000	ø1500 × 2000	ø2600 × 3200
Макс. температура(℃)	1500	1500	1500	1500	1500	1500	1500
Однородность температуры (°C)	±5	±5	±7.5	±7.5	±10	±10	±15
Предельный вакуум (Па)	50	50	50	50	50	50	50
Скорость увеличения давления (Па/ч)	0.67	0.67	0.67	0.67	0.67	0.67	0.67